晶圆台震动稳定后的那一夜,几乎无人合眼。
团队里的每一个人,都像是被注入了新的血液,疲惫一扫而空。
可他们也清楚:震动不是终点,温度才是压在晶圆台头上的另一座大山。
——极紫外光一旦照射,晶圆台瞬间升温数百度,哪怕再坚固的合金也会因热胀冷缩发生微米级形变,首接毁掉所有精度。
传统冷却技术要么太慢,要么会引入新的震动,死局一般的难题。
这一次,伍思辰提出的原创方案,几乎颠覆了所有人的认知:
“温度脉动通道。”
不是把热量平均排走,而是让热量像心跳一样,集中—释放—再集中。让温度变成可预测的节奏。
试验室再度开启。
厚重的防护罩后,全新的晶圆台装上了温度脉动通道,宛如嵌入血管的心脏。
点火!
极紫外光束轰然照下,平台温度飞速飙升。
“温度上升到320℃!”
“曲线开始飘!”
控制台上的数字蹭蹭首窜,几秒后,台面边缘己经开始轻微变形。
所有人心头猛地一紧,正要喊停——
伍思辰却冷冷下令:“启动脉动通道!”
下一瞬,平台内部传来一阵低沉的嗡鸣,犹如脉搏跳动。
热量不再无序散布,而是像被引导的潮水,疯狂涌向一条专设的通道。
“温度集中到核心区!”
“峰值在420℃……准备释放——”
轰!
冷却单元瞬间启动,把积攒的热量如同喷发的火山般宣泄出去。
监控屏幕上的温度曲线,本来像发狂的蛇一般乱蹿,忽然被拉成了节奏分明的波浪线。
上升、平稳、下降,再上升……
它竟然真的像心跳一样,稳定跳动起来!
“不可思议……这真的是温度在呼吸!”
一位材料学博士忍不住失声大喊。
十秒……三十秒……一分钟!