操作台上,负责反射镜调校的年轻工程师手指发抖,屏幕上曲线再次偏离预期。
“极紫外光源衰减过快,能量分布完全不稳定。”
“镜面材料被烧毁了第三次,反射率连一半都不到。”
低沉的声音在会议室里蔓延,空气压抑到极点。
所有人心里都清楚,这是光刻机的命脉。没有稳定的EUV光源,就算其他零件再完美,也只是废铁。
一位老专家咬着牙,眼角布满血丝:“没有高纯度稀有气体,没有能够承受极紫外烧蚀的镜面材料,我们是无米之炊啊!再做下去……怕是竹篮打水。”
一瞬间,连最乐观的研究员也沉默了。有人低下头,有人捂住脸,甚至有人咬紧牙关忍住泪水。
就在这死寂般的氛围中,会议室的大门被推开。
伍思辰走了进来。
他身上没有穿实验服,只是一件再普通不过的黑色衬衫,却像一道锋锐的剪影切开了沉闷。
他扫视全场,缓缓开口:“我听说,你们觉得这是‘无解之题’?”
研究员们纷纷低下头,没有人敢与他对视。
伍思辰突然冷笑:“无解?在别人手里也许无解,但在我们手里,未必!”
他大步走向投影屏幕,接过控制权,熟练地调出一组模拟图。
只见屏幕上,原本脆弱的极紫外光源,被他替换成了一个全新的方案——双级等离子体点火。
“传统EUV光源,依赖单点放电,能量聚集不稳,烧蚀问题极严重。但如果我们在微米级液态锡靶上,采用双级等离子体激发,就能让光源的寿命提升一个数量级。”
伍思辰边说,边挥动手指,将复杂的物理模拟数据逐一展开。
研究员们纷纷抬起头,目光逐渐亮起。
“可是,反射镜材料依然撑不住高能量冲击啊!”有人忍不住质疑。
伍思辰眼神凌厉,首接切换下一页。
“这就是第二个突破口——镜面涂层。”
屏幕上出现了一串陌生的公式与分子结构。
“我们不用死磕西方那套多层钼硅反射镜。我要你们尝试碳纳米管复合镀层,并在底层加入超导冷却结构。这样,反射率可以稳定在70%以上,寿命提升三倍!”
全场一片寂静。
几秒后,年纪最大的材料学教授猛地站起,眼眸颤抖:“碳纳米管……对!它本身耐高温、抗辐射,只要复合工艺成功,就能解决镜面烧蚀!”
年轻研究员们也忍不住惊呼:“如果双级等离子体光源和碳纳米管反射镜同时突破……那就意味着,我们能越过西方垄断的技术路线!”
伍思辰看着他们,声音铿锵:“没错!别人告诉你们不可能,那是因为他们害怕!只要我们能把这两点做出来,哪怕成功率只有10%,也足以点燃整个世界!”
“你们想想,今天在赛场上,我们的大夏运动员刷新了人类极限;明天,在实验室里,我们也能刷新科技极限!”
话音落下,会议室再无死气。
有人狠狠拍桌,眼睛通红:“干!再失败一百次,也要做出来!”
有人攥紧拳头:“就算拼掉这把老骨头,我也要把碳纳米管镀层烧出来!”
士气,像被点燃的烈焰,席卷全场。
伍思辰环视众人,语气坚定:“今天,你们看见的是困境。明天,全世界会看见的,是奇迹。”
他将最后一页演示定格在屏幕上——那是一台未来光刻机的蓝图,底下只有西个字:
“大夏制造。”