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第254章 光源和反射镜难点（第1页）

实验大厅内，一台崭新的极紫外光源装置正安静伫立，像一头沉睡的巨兽。厚重的铅玻璃隔离墙后，数十名研究员屏住呼吸，死死盯着监控屏。

“开始点火。”

随着指令落下，装置内部的高能脉冲闪烁，液态锡靶被击中，刹那间爆出一抹耀眼光弧。

“能量读数……过高！稳定性下降！”

“等离子体偏移，输出波长出现漂移！”

警报声骤然拉响，实验室内灯光瞬间转为红色。不到两秒，光弧便像被狂风吹散的火苗一样摇晃、扭曲，最后轰然熄灭。

“又失败了！”

“寿命不到0。8秒，根本无法维持！”

有人泄气地瘫倒在椅子上，声音嘶哑。

这己是他们连续第七次点火实验。光源要么过早熄灭，要么能量暴走，始终无法稳定。大家心里都清楚，如果解决不了这个问题，整个计划就会功亏一篑。

沉重的空气压得人快要窒息。就在此时，伍思辰走到主控台前，淡淡开口：“把刚才的能量曲线调出来。”

研究员立刻操作，屏幕上出现一条疯狂震荡的曲线。

伍思辰凝视片刻，眉头微皱：“问题不在等离子体，而在点火的‘引线’。”

“引线？”年轻研究员愣住了。

伍思辰手指在屏幕上飞快地圈出几个点：“你们现在的点火方式，是单级脉冲首击锡靶，能量瞬间爆发过猛，导致等离子体紊乱。换句话说，你们是在让它‘一下子燃尽’，而不是‘慢慢燃烧’。”

他顿了顿，目光锋锐：“解决办法很简单——加一道前级柔性脉冲，让锡靶先进入半激发态，再用主脉冲引爆。双级点火，就能把光源稳住！”

全场一震！

一位物理学专家猛地起身，眼睛放光：“对啊！这就是软引燃！先给靶心一个温和的预热，再叠加主脉冲，就像点燃火药前先打底火！”

“快，马上修改程序！”

研究员们立刻行动，飞快地调整参数，将原本单一的高能脉冲拆分成前后两级。

“点火倒计时，三、二、一！”

再次启动的瞬间，液态锡靶被柔性脉冲轻轻激发，闪烁出稳定的辉光。紧接着，主脉冲轰然击下，光弧瞬间膨胀，但这一次，它并没有紊乱，而是像被无形之手固定在空中，燃烧得均匀而持久。

“能量稳定！”

“寿命突破5秒……10秒……20秒！”

监控屏上的曲线几乎稳如首线，实验室里爆发出压抑不住的惊呼声。有人激动地捂住嘴，有人红着眼喊出声：“成功了！真的稳住了！”

伍思辰看着那道持续燃烧的光弧，眼神如刀锋般锐利。他声音不大，却震得每个人心头发烫：

“记住，这只是第一步。但今天，你们证明了——别人说不可能的，我们照样能做到。”

全场爆发出山呼海啸般的掌声与欢呼，科研人员们激动得几乎落泪。那一刻，压在心头的阴霾被彻底击碎。

他们知道，大夏的光刻机，真正点燃了！

光源实验的成功，让团队士气大振，但所有人都清楚：这只是光刻机的一只翅膀。真正能否飞起来，还要看另一只——高精度反射镜。

没有足够稳定的反射率，就无法把极紫外光束精准聚焦到纳米级的晶圆上。前期使用的钼硅多层镜，寿命不过几次点火，便被烧成了黝黑的废片。

于是，所有的希望都压在伍思辰提出的“碳纳米管复合镀层”上。

第一次实验