“记录时间。”他轻声说,“2011年12月24日,上午11点37分,国产EUV光刻机首次实现全系统稳定出光。光源功率260W,持续时间42分钟,达到商用门槛。”
技术人员郑重记下这一刻。
随后,第一片12英寸硅片被送入曝光舱。预设图案是八个汉字:**光出东方,星火燎原**。
两小时后,显影完成。电镜检测结果显示:线条清晰,边缘陡直,关键尺寸偏差仅±0。9nm。
完美。
当晚,唐静荷没有参加庆功宴。他独自一人回到办公室,打开保险柜,取出父亲那本《精密加工十八法》,翻到最后一页空白处,提笔写下:
>2011年12月24日,平安夜。
>国产EUV首次成功曝光。
>图案是我们自己设计的八个字。
>没有向任何人炫耀,也没有发一条朋友圈。
>我只是把它拍下来,发给了远在老家的母亲。
>她回了一个字:好。
>那一刻,我觉得这一生,值了。
第二天,消息通过内部渠道悄然传开:EUV原型机联调成功,即将转入小批量试产阶段。与此同时,国家发改委紧急召开会议,决定提前拨付“星火工程”三期专项资金80亿元,并特批在上海临港建设**国家级极紫外光刻技术创新中心**,整合全国顶尖资源,加速产业化进程。
然而,风暴也随之而来。
圣诞次日,美国商务部宣布对中国实施史上最严苛的技术封锁措施:全面禁止向中国出口任何可用于先进制程的光学材料、特种陶瓷、高性能电机及精密传感器;同时施压荷兰、日本政府,要求其国内企业停止与中国开展任何形式的技术合作,违者将面临二级制裁。
更致命的是,美国国务院联合北约情报机构发布所谓“安全警告”,声称中国正在利用民用半导体项目“伪装军事用途”,并公开一份所谓“未来科技高管名单”,暗示其核心团队成员涉嫌“窃取西方技术”。
舆论战随之打响。
欧美主流媒体密集刊发文章,《纽约时报》称:“中国所谓的EUV突破不过是精心策划的政治表演,真实技术水平仍落后至少十年。”《经济学人》则冷嘲热讽:“他们或许能点亮一束光,但造不出一个完整的生态系统。”
资本市场剧烈震荡。港股半导体板块单日暴跌12%,多家基金紧急抛售相关持仓。甚至有国内自媒体煽风点火:“别再吹牛了,我们连光刻胶都做不好,谈什么EUV?”
面对质疑,唐静荷罕见地选择了沉默。
直到元旦前夕,他才在接受央视专访时首次回应:“他们说得对,我们确实造不出完美的光刻胶。但现在我们有二十家化工企业在攻关,其中三家已做出90%性能替代品。我们也确实没有顶级镜头,但我们正在用算法补偿光学缺陷。我们起步晚,但我们不怕慢。因为我们知道,每一次失败,都是通往正确的必经之路。”
他停顿了一下,目光直视镜头:“我想告诉那些唱衰我们的人:你们越是封锁,我们就越清醒。你们越是抹黑,我们就越团结。这不是赌气,这是信念。”
节目播出当晚,微博话题#我们不怕慢#登上热搜榜首。一位网友留言:“小时候课本上说‘两弹一星’靠算盘打出来,我不信。现在我才明白,中国人从来就不缺奇迹,缺的只是一个敢带头往前冲的人。”
2012年元月三日,新年的第一场雪降临深圳。
但“星火工厂”内热火朝天。EUV设备进入第七轮连续稳定性测试,目标是实现**连续运行一百小时无故障**。与此同时,“磐石工程”取得重大进展:内蒙古电子特气厂建成投产,首批超高纯度氖气、氩气顺利交付;江苏某新材料公司攻克氟化氢试剂提纯工艺,纯度达99。9999%,完全满足14nm以下制程需求;甚至连长期依赖进口的光刻胶,也在苏州实验室做出了首款国产KrF级产品,初步测试合格率已达82%。
唐静荷亲自赶赴苏州验收成果。当他看到那瓶透明液体在紫外灯下泛出淡淡荧光时,竟忍不住伸手摸了摸瓶身。
“这就是我们的‘墨水’。”他对研发团队说,“以后我们写字,再也不用求人了。”
返程途中,他接到崔倩电话:“唐总,台湾那边又有新动静??新竹科学园区传出消息,原本答应协助我们的几位专家,因受到当局施压,不得不公开否认合作意向。但他们私下托人带话:‘心仍在,火未熄’。”
唐静荷听完,久久未语。
良久,他在微信上回复了一句:“我知道。请转告他们:路虽远,行则将至;事虽难,做则必成。我们不急,我们在等。”
飞机穿越云层时,他再次翻开笔记本,写下新的一段:
>2012年1月5日,晴转雪。