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第278章 微信4 0绝杀QQ鹅厂危机二合一大章（第1页）

六月的深圳，空气湿热得如同蒸笼。唐静荷站在“星火工厂”洁净室的观察窗外，额角渗出细密的汗珠，工装衬衫后背早已被汗水浸透。他没有动，只是盯着那台正在缓缓开启舱门的光刻机??这是国产EUV光源首次接入整机系统，标志着“逐日计划”从理论验证正式迈入工程集成阶段。

“压力稳定，真空度达标。”技术人员的声音透过耳机传来，“准备启动等离子体激发程序。”

唐静荷深吸一口气，点了点头：“开始。”

刹那间，幽蓝的激光束刺穿黑暗，在锡滴靶材上炸开一团炽烈的极紫外光。监控屏上的功率曲线猛然跃升：120W……180W……230W……最终定格在**256W**，持续输出超过三十分钟，波形平稳如初。

实验室爆发出压抑已久的欢呼声。有人跳起来抱住同事，有人眼眶泛红地低头抹泪。这束光，不只是技术突破，更是中国半导体人被封锁十年后终于挺直的脊梁。

“告诉李维森院士团队，”唐静荷声音沙哑，“他们点亮的不是光源，是未来二十年的技术主权。”

当晚，他没有回市区，而是留在厂区简陋的宿舍里。窗外雨声淅沥，雷鸣滚滚，仿佛天地也在为这场胜利震荡。他翻开黑色笔记本，写下新一页：

>2011年6月9日，EUV光源连续运行32分钟，输出功率256W。

>这束光，照进了过去我们认为永远无法触及的黑暗。

>可我知道，真正的挑战才刚刚开始??

>光源可以复制，但经验无法搬运；

>设备能够组装，但工艺需要时间沉淀。

>我们要的不是一台机器，而是一整套生态。

>愿我们始终清醒，不因一次突破而自满。

第二天清晨，崔倩打来电话，语气急促：“唐总，ASML突然宣布降价30%出售两台二手EUV光刻机给韩国三星，并附带五年免费维护和技术支持。业内传言，这是针对我们的反制动作。”

唐静荷听完，沉默片刻，忽然笑了：“他们怕了。怕我们真的不用他们的设备也能走通这条路。”

“可资本市场已经开始动摇。”崔倩担忧道，“有分析师称‘中国自研EUV是政治秀’，认为我们不可能在五年内实现量产，建议投资者撤离相关产业链股。”

“那就让他们撤。”他平静地说，“真正相信技术的人，从来不会看K线图做决定。通知全集团：研发投入不减反增，‘逐日计划’预算上调40%，所有核心岗位薪资翻倍锁定人才。我要让全世界知道，越是打压，我们越要加速。”

挂断电话后，他驱车前往东莞松山湖基地??那里正秘密进行国产双工件台的闭环测试。这是EUV光刻机最后也是最难的一环：必须让两个重达数吨的载物台以纳米级精度同步运动，速度达到每秒1米以上，误差控制在±1。5nm以内。

项目负责人王振国已在门口等候，脸色凝重：“唐总，第三次联调失败了。Y轴动态响应出现周期性抖动，导致对准偏差累积到3。7nm，超出了容忍极限。”

“带我去现场。”唐静荷脱下外套，换上防尘服。

测试大厅内，巨大的银白色工件台如同机械巨兽般静静伫立。屏幕上滚动着成千上万行数据流，红色警报不断闪烁。

“问题出在哪？”他问。

“初步判断是伺服电机与精密导轨之间的谐振耦合。”一位年轻工程师回答，“我们用了中科院特制的磁悬浮轴承，但在高频往复运动中产生了微弱振动，通过结构传导放大。”

唐静荷蹲下身，伸手触摸导轨表面，指尖传来细微的麻感。“你们有没有试过改变驱动频率的相位序列？避开共振点不如主动压制它。就像打拳，对手发力时你顺势卸力，反而能掌控节奏。”

王振国一愣，随即拍案而起：“对！我们可以引入AI预测模型，实时调整电流相位，形成主动阻尼效应！”

七十二小时后，第四次联调启动。

当第一个完整曝光场成功转移至硅片上，检测结果显示：**套刻误差1。3nm**。

成功了。

那一刻，整个团队抱在一起，哭得像孩子。而唐静荷只是默默摘下徽章，轻轻放在控制台上??那是父亲生前留给他唯一的一枚厂徽，上面刻着“精益求精”。